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Auditorium (salle 1035)
5155, chemin de la rampe
Montréal (QC) Canada  H3T 2B2

Frederic ZAMKOTSIAN, Laboratoire d'astrophyisque de Marseille, Marseille, France.

Multi-object spectroscopy (MOS) is a powerful tool for space and  ground-based telescopes for the study of the formation and evolution of  galaxies. This technique requires a programmable slit mask for astronomical object selection. We are engaged in a European development of micromirror arrays (MMA) for generating reflective slit masks in  future MOS, called MIRA.


MMA with 100 x 200 µm2 single-crystal silicon micromirrors were  successfully designed, fabricated and tested, together with EPFL (Switzerland). Arrays are composed of 2048 micromirrors (32 x 64) with a peak-to-valley deformation less than 10 nm, a tilt angle of 24° for an actuation voltage of 130 V. The micromirrors were actuated successfully before, during and after cryogenic cooling, down to 162K. The micromirror surface deformation was measured at cryo and is below 30 nm
peak-to-valley.

The performances of our micromirror array fulfil the requirements for  future MOS instruments in space. MIRA could also be a key component for Earth Observation missions, providing unique capabilities at the entrance of a spectrograph, or by being the core component of a  programmable wide field spectrograph. We will present instrument  demonstrator designed and integrated at LAM for showing the unique and  original use of these MOEMS devices in a wide range of application.

Les spectrographes multi-objets (MOS) sont des outils particulièrement puissants montés sur les télescopes au sol et dans l’espace pour l’étude de la formation et de l’évolution des galaxies. Cette technique a besoin d’un masque avec des fentes reconfigurables pour la sélection des objets astronomiques. Nous développons au sein d’un consortium européen une matrice de micro-miroirs (MMA), appelé MIRA, pour générer des fentes en réflexion dans les futurs MOS.


Nous avons conçu, réalisé et testé avec l’EPFL (Suisse) une matrice de micro-miroirs d’une taille élémentaire de 100 x 200 µm2 en silicium monocristallin. Les matrices sont constituées de 2048 micro-miroirs (32x64) avec une déformation de surface inférieure à 10nm pic-à-vallée, un angle de tilt mécanique supérieur à 20°, pour une tension d’actionnement de 130V. Les micro-miroirs ont tilté avec succès avant, pendant et après avoir été refroidis à une température cryogénique de 162K. La déformation de surface a été mesurée à froid et en actionnement, et est inférieur à 30nm pic-à-vallée.

Les performances de notre matrice de micro-miroirs remplissent les besoins des futurs instruments MOS dans l’espace. MIRA peut également être un composant-clé pour l’Observation de la Terre, permettant de réaliser une fente « intelligente » à l’entrée du spectrographe, ou étant le composant au cœur d’un spectrographe programmable grand champ. Nous présenterons également les démonstrateurs d’instruments que nous avons conçus et intégrés au LAM pour montrer les capacités uniques et originales d’instruments basés sur des MOEMS, pour une large gamme d’applications.

Site web du groupe du Dr. Zamkotsian

Cette conférence est présentée par le RQMP Versant Nord du Département de physique de l'Université de Montréal et le Département de génie physique de Polytechnique Montréal.

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